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半導(dǎo)體高溫老化柜，也稱(chēng)為ORT高溫老化柜，是一種專(zhuān)門(mén)用于半導(dǎo)體器件可靠性測(cè)試的設(shè)備。它通過(guò)模擬高溫、高濕、高壓等惡劣環(huán)境，對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的老化處理，以評(píng)估其在實(shí)際使用環(huán)境中的性能表現(xiàn)和可靠性